瀏覽數量:344 作者:本站編輯 發布時間: 2017-05-17 來源:本站
通常將欲沉積的材料制成板材-靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶一定距離。系統抽至高真空后充入(10~1)帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產生輝光放電。放電產生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍內。濺射原子在基片表面沉積成膜。其中磁控濺射可以被認為是鍍膜技術中最突出的成就之一。它以濺射率高、基片溫升低、膜-基結合力好、裝置性能穩定、操作控制方便等優點,成為鍍膜工業應用領域(特別是建筑鍍膜玻璃、透明導電膜玻璃、柔性基材卷繞鍍等對大面積的均勻性有特別苛刻要求的連續鍍膜場合)的首選方案。
國內濺射靶材廠家該如何選擇?濺射靶材廠家哪個好?要選擇適合自己的濺射靶材,首先要了解自己的需求,了解濺射靶材的基本常識。那么對于濺射靶材廠家的選擇,小編為大家分析下幾個方面:
濺射屬于PDV(物理氣相沉積)三種基本方法:真空蒸發、濺射 、離子鍍(空心陰極離子鍍、熱陰極離子鍍、電弧離子鍍、活性反應離子鍍、射頻離子鍍、直流放電離子鍍)中的一種。
一、濺射靶材的分類
陶瓷濺射靶材 ,硅化物陶瓷濺射靶材 ,硫化物陶瓷濺射靶材 ,碲化物陶瓷濺射靶材 ,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs)。
金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材 ,氮化物陶瓷濺射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物。
二:靶材應用行業分類
1、太陽能光伏光熱行業靶材
氧化鋅鋁靶ZAO; 硅靶;鈦靶、氧化鈦靶;鋁靶;鉻靶、鎳鉻;鋅鋁、鎢、鉬
靶等。
2、 裝飾、工模具鍍膜行業靶材鉻靶(Cr),平面鉻靶,噴涂鉻管;
鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);
鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);
鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧,平面靶,旋轉管靶);
鈦靶,鈦管靶,鋯靶;
金靶,玫瑰金靶;
石墨靶,鎳靶,鋁靶,不銹鋼靶等。
3、 建筑汽車玻璃大面積鍍膜
硅鋁靶、旋轉硅鋁靶;氧化鈦靶;錫靶;鉻靶;硅靶;鈦靶、不銹鋼靶。
4、 光學,光通信,光存儲行業
銀靶;鉭靶;硫化鋅靶;高純鋁靶;硅靶。
5、 平面顯示行業
ITO 靶;二氧化硅靶;高純硅靶5-7N;高純鉻靶3N5;TFT 鉬靶;鉬鈮靶;鎢鈦
靶90/10wt%;高純鋁靶等。
國內濺射靶材廠家應該如何選擇?
首先,廠商的實力。
其次,廠商的產品附加值。
最后,作為加盟代理商必須去該廠商的總部考察考察,這點似乎大家都知道做。
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